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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000X

雅馬拓產(chǎn)品報價：0.00

13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。

產(chǎn)品詳情
相關(guān)參數(shù)
相關(guān)資訊

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式
高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)
多種用途。
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除

屬性	參數(shù)
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W300×D300mm
電極	2段電極（獨立）
反應(yīng)氣體	聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配）	約1500L/min
安全裝置	門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

實驗室設(shè)備代理商

內(nèi)蒙古儀誠科學(xué)實驗室設(shè)備有限公司

內(nèi)蒙古儀誠科學(xué)實驗室設(shè)備有限公司是一家專業(yè)的實驗室儀器、科研設(shè)備的供應(yīng)商。是內(nèi)蒙古儀器領(lǐng)域的主要供應(yīng)商之一，代理國內(nèi)外幾十家專業(yè)生產(chǎn)廠家的高科技產(chǎn)品，包括德國艾本德（Eppendorf）、美國奧豪斯（OHAUS）、瑞士步琦（BUCHI）、日本愛拓、青島海爾、北京大龍、上海知信、上海博迅、海門其林貝爾、安徽皖儀、保定蘭格等。